쿼드 캐비티 HMDS 진공 건조기 컴퓨터식 다중 공위 HMDS 건조기

컴퓨터식 다공위 HMDS 오븐의 주요 역할

장비는 6메틸 다이실리콘 (HMDS) 을 빠르고 균일하며 비용 효율적으로 라이닝에 사전 처리하여 라이닝과 포토레지스트의 부착력을 향상시킨다.

양질의 포토레지스트 부착력은 후속 모든 공정 절차의 기초이며, 충분한 밑칠을 거친 표면만이 마이크로미터급의 공중초점 광맹을 정확하게 재현할 수 있으며, 가장자리가 터지거나 괄호 등의 문제가 발생하지 않도록 할 수 있다.진공 경화 공정은 기판을 빨리 탈수하여 HMDS 층과 형성된 우수한 결합력을 대기 습도에 노출된 지 수주 후에도 안정적으로 유지할 수 있다.

쿼드 캐비티 HMDS 진공 건조기 컴퓨터식 다중 공위 HMDS 건조기공예 특징

화학적 퇴적 균일성

접촉각의 균일성이 더 좋다

방습 표면 처리

포토레지스트 부착력 3-5배 향상

빈 공간(Void) 채우기 방지 및 그래픽 전송 품질 향상

광 저항 부착성 강화

헥사 메틸 실리카(HMDS) 소비량 감소

적용 업종: MEMS, 필터, 증폭, 출력 등 부품, 웨이퍼, 사파이어, 유리, 귀금속, SiC(탄화규소), GaN(질화갈륨), ZnO(산화아연), GaO(산화갈륨), 비화갈륨, 니오브산리튬과, 인화인듐, 금강석 등 3세대 반도체 재료.

쿼드 캐비티 HMDS 진공 건조기 컴퓨터식 다중 공위 HMDS 건조기성능

용적: 40L*4,(1-12인치 제품 및 조각 호환) 사용자 정의 가능

작업 응용 프로그램: 4공위 독립 제어

온도 범위: RT+20-200℃

真空度： ≤1토르

자동화: 컴퓨터 제어 + MES에서 비행기 위치 제어

진공 펌프: 무유 터빈 진공 펌프

HMDS 약액 누출 경보 알림 기능

HMDS 저액위 경보 알림 기능

프로세스 데이터 로깅 기능

프로그램 잠금 보호 등의 기능