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개요
성미 * 기술인 공간 변환 위상 이동 (SAPS ) 기술은 메가 음파 세척 장치와 웨이퍼의 간격이 메가 음파 위상에 따라 변화하는 것을 제어하여 메가 음파가 웨이퍼 표면에 고르게 분포되어 녹아내린 세척 효과를 달성한다.
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