주요 이점

버누리 클립으로 웨이퍼 뒷면을 완벽하게 보호

약물 회수 기능은 원가를 낮출 수 있다.

집적 가능한 질소 이류체 세척 기능

규소 식각 및 박막 식각 공예와 같은 습법 부식 공예에 유연하게 응용할 수 있다

고급 노즐 스캐닝 시스템

정밀한 습법 각식 균일도 제어

정밀한 화학 약액 공급

재혼합 슬라이스, 본딩 슬라이스, 슬림 슬라이스 등 다양한 라이닝 소재에 유연하게 적용 가능

특징 사양

최대 8개의 세척 캐비티

웨이퍼 플립 유닛 장착

최대 5가지 약액에 배합하여 세척공정 또는 습법각식공정, RCA약액, 불소산, 불소산/질산혼합액, 조제약액 등

버누리 클립은 웨이퍼 뒷면을 완벽하게 보호합니다.

최대 2종의 화학약액 회수 가능