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전화
18810401088
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주소
북경시 풍대구
제품 카테고리
북경중과복화과학기술유한회사
개요
PHABLE 기기는 Eulitha가 채택한 변위 탤벗 포토레지스트(DTL) 기술을 기반으로 저비용 포토레지스트 시스템을 통해 고해상도 포토레지스트를 제공한다.DTL은 전통적인 광각에서 회절되는 한계를 극복하고 품질이 우수한 마이크로미터 주기 도안을 노출할 수 있다.비접촉식 노출은 마스크판과 웨이퍼를 동시에 보호할 수 있으며, 무초점 영상 기술은 비평면 기재와 두꺼운 포토레지스트에 균일한 노출을 실현할 수 있다.
제품 정보
PhableR은 저비용 포토레지스트 시스템으로 고해상도 주기성 구조를 노출할 수 있는 능력을 갖추고 있다.그것은 전통적인 자외선 노출기와 유사하며, 포토레지스트를 칠한 웨이퍼를 마스크에 가깝게 한 다음 자외선 깊이 자외선으로 비춘다.Eulitha의 획기적인 PHABLE 노출 기술로 인해 해상도는 더 이상 원하지 않는 회절 효과에 의해 제한되지 않습니다.예를 들어 마이크로미터 주기의 선형 울타리와 2차원 도안 등 구조 (예를 들어 육방과 사방 격자 노출) 는 모두 높은 균일성과 충실도를 가지고 있다.
PhableR 100 DUV 포토레지스트는 연구 및 개발을 위한 기초 수동 기계입니다.나노 주기성 구조의 경우 복잡한 공정 과정이나 경험 없이 대면적, 균일성과 중복성이 좋은 1차원, 2차원 래스터 구조를 제작할 수 있다.장치 및 서비스에 대한 몇 가지 특징:
1. 장치 조작이 간단하다
2.앞뒤 공정 및 부대설비와 호환성이 좋다
다음과 같은 광범위한 애플리케이션
