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북경시 풍대구
제품 카테고리
북경중과복화과학기술유한회사
개요
PHABLE 기기는 Eulitha가 채택한 변위 탤벗 포토레지스트(DTL) 기술을 기반으로 저비용 포토레지스트 시스템을 통해 고해상도 포토레지스트를 제공한다.DTL은 전통적인 광각에서 회절되는 한계를 극복하고 품질이 우수한 마이크로미터 주기 도안을 노출할 수 있다.비접촉식 노출은 마스크판과 웨이퍼를 동시에 보호할 수 있으며, 무초점 영상 기술은 비평면 기재와 두꺼운 포토레지스트에 균일한 노출을 실현할 수 있다.
제품 정보
