일본 수입 이류체 노즐 나노 노즐 반도체 업계용

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우리 주변의 각종 전자기기에 사용되는 반도체.최근 들어 반도체의 중요성이 더욱 높아지고 있는 것과 맞물려 반도체의 품질 향상은 필수적이다.반도체 제조장치 중 실리콘을 세척하는 반도체 세척장치는 반도체 품질 저하를 초래하는 쓰레기 등 이물질을 제거하는 데 중요한 장비다.반도체 세척 장치에서는 순수한 물과 약제를 실리콘 조각에 불어 넣는 세척 공정에서 1류체와 2류체의 노즐을 많이 사용한다.

대상물에 부착된 이물질과 때, 0.1 쓰레기에서 미량의 중금속 원자, 탄소 분자, 기름 등 각양각색이며, 이 중에는 지금까지의 스프레이로는 세척, 제거가 불가능한 것도 있다.이물질에 따라 제거하기 어려운 것이 있어 세척장치로서의 성능을 충분히 발휘하지 못한다.또 반도체 세척장치의 내부는 복잡하고 제한된 공간만 있을 뿐 탑재할 수 있는 노즐은 제한돼 있다.이를 위해 본 사례의 고객들은 ① 장치에 적합한 콤팩트한 모양, ② 세척 능력이 높으면 확실히 이물질을 제거하고 ③ 세척 시간이 단축되는 노즐을 찾고 있다.

특기

입자화 특성에 뛰어난 2유체 노즐

내산성, 내알칼리성에 뛰어난PEEK수지 채택

낮은 점도에서 높은 점도까지의 입자 분사가 가능

무게는 단지 15g

液通路径が大きく, 액액체통과에 효과적이다.

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내식성이 우수하며 점성 유체의 입자 화 적용에 가장 적합합니다.PEEK유형

이유체 노즐

반도체 정밀 세정

순수한 물 스프레이

에치링에서 약액 사용

액체결정 제조장치에 통합

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