가스 필터 Entegris

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개요

WGFG01DSH는 고순도 가스 수송 시스템을 위해 특별히 설계된 점-of-use(터미널 사용점) 필터이다.이는 주로 하류의 관건적인 공예설비를 보호하고 기체중의 과립오염물을 제거하여 공예기체가 가혹한 청결도요구를 만족시키도록 확보하는데 사용된다.

제품 정보

Entegris WGFG01DSH 가스 필터

1. 제품 개요
WGFG01DSH는 고순도 가스 수송 시스템을 위해 특별히 설계된 점-of-use(터미널 사용점) 필터이다.이는 주로 하류의 관건적인 공예설비를 보호하고 기체중의 과립오염물을 제거하여 공예기체가 가혹한 청결도요구를 만족시키도록 확보하는데 사용된다.

2. 핵심 매개변수 및 사양

프로젝트	매개변수 / 사양
제품 모델	WGFG01DSH
필터 레벨	일반적으로 주문 모델 접미사에 따라 0.003 마이크로미터 (3nm) 이상의 금속 소결 필터로 구성됩니다.
미디어 필터링	스테인리스 스틸 소결 금속 섬유 펠트 (예: Entegris의 Bekaert 섬유 펠트 기술).
케이스 소재	316L 스테인리스강 (저철, 저황).
연결 방법	VCR® 또는 VCO® 일반적으로 1 / 4인치 또는 1 / 2인치 크기의 면 밀봉 커넥터 (주문에 따라 확인해야 함)
밀봉 재료	일반적으로 전체 금속 밀봉 (폴리머 없음) 또는 Viton과 같은 반도체 공정 요구 사항을 충족하는 불소 고무 옵션®/FKM) 씰링.
설계 압력	2000psig(138bar) 이상의 일반적인 고압력 설계, 제품 데이터시트 참조.
설계 온도	고온의 구이 환경에 적응할 수 있으며, 일반적인 작업 온도 범위는 150 ° C 이상에 달할 수 있다.
표면처리	케이스 내부는 입자 흡착과 출기율을 낮추기 위해 전해포광(EP) 처리됐다.
입자 제거율	목표 입경 (예: ≥ 0.003 μm) 의 입자에 대한 제거 효율은 보통 ≥ 99.9999% 이다.
출하 시 테스트	각 필터는 스팟 테스트와 같은 엄격한 출하 무결성 테스트와 입자 문제 테스트를 거쳐 인증 보고서(CoC)를 제공합니다.
응용 분야	반도체 제조, 디스플레이 패널, 태양광, 광섬유 사전 제작봉 등 초고순도 기체가 필요한 공정 고리는 광각, 각식,CVD、이온 주입 등 설비의 공기 공급선.

3. 주요 기능 특징
높은 포집 효율: 깊이 로드 메커니즘을 사용하여 마이크로미터 및 나노미터급 입자에 대한 차단 능력을 가지고 있습니다.
저석출과 저석기: 전금속구조와 전해포광처리로 금속이온의 석출을 효과적으로 통제하고 수분과 기체의 탈부를 낮춘다.
높은 패브릭 무결성: 시스템 압력 변동, 충격 및 고온에 견고한 금속 필터 및 케이스
광범위한 호환성: N, H, O, Ar, He, SiH₄, HCl, Cl, WF ₆ 등 다양한 고순도, 부식성 및 불활성 공정 가스에 적용됩니다.

4. 중요한 설명

특정 기술 매개변수 (예: 연결 크기, 정확한 필터링 수준, 압력 정격) 는Entegris의 최종 제품 규격서(Datasheet) 및 인증 보고서기준.

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