스크루 진공 펌프

무유 입식 내부 진공 펌프

배기가스 흡수 세트 장치

마이크로 배기가스 흡수장치

회전판탑

강막 흡수기

전체 휘감기 탱크 (탱크)

진공 계량 탱크

여과조

이온교환기둥(나무기둥)