수소-불산 온라인 농도 측정기 정밀도 높은 SEMIG5급

제품 소개

반도체, 마이크로전자 등 하이테크 분야에서는 전자급 수소-불소산 (HF) 이 세척과 식각 기능을 발휘한다.

제품의 품질을 보장하는 면에서 농도통제는 세척과 식각효과를 확보하는 기초로서 과도하거나 부족하지 않도록 함으로써 제품의 표면품질과 성능을 확보한다.

생산공정을 안정시키는 면에서 HF 농도파동은 공정이 불안정하고 생산효률과 량품률에 영향을 미치며 안정적인 농도통제는 고효률생산을 실현하는 관건이다.

생산원가를 낮추는 면에서 HF사용량을 통제하여 랑비를 줄이고 페액처리원가를 낮추어 경제효익화를 실현해야 한다.

안전성을 제고하는 면에서 HF 농도를 파악하는것은 잠재적인 안전위험을 평가하고 상응한 방호조치를 취하여 조작인원의 안전을 보장하는데 도움이 된다.

환경보호 요구 사항을 충족하는 데 있어 HF 사용량을 통제하고 배출량을 줄이는 것은 기업이 날로 엄격해지는 환경보호 법규를 만족시키는 데 도움이 된다.

전자급 수소-불소산은 반도체 제조를 포함하는 응용 분야가 광범위하며, 실리콘 조각 세척, 산화층 식각, 금속 불순물 제거 등 핵심 공정에 사용된다;마이크로전자 제조는 집적회로 제조, 액정표시장치 제조, 태양전지 제조 등 단계에 응용한다;그리고 실험실 연구, 화학 분석, 재료 연구 등 방면에서 역할을 발휘한다.

그러나 전통적인 수소-불소산 농도 검측 방법은 종종 인공 샘플링 분석에 의존하는데, 이런 방식은 많은 폐단이 존재한다: 시간과 힘을 소모하고, 인공 샘플링, 검사 전송, 분석 결과를 기다려야 하기 때문에 효율이 떨어진다;정체성, 분석 결과가 HF 농도 변화를 실시간으로 반영하지 못해 공정을 제때 조정할 수 없음;오차가 비교적 크고 인공조작은 오차를 쉽게 도입하여 검측정밀도에 영향을 준다.더욱 중요한것은 안전성문제가 존재하며 고부식성의 HF에 직접 접촉하는것은 비교적 높은 안전위험을 갖고있다.따라서 더 효율적이고 안전한 수소-불산 농도 측정 방법을 찾는 것이 필수적이다.

수소-불산 온라인 농도 측정기, 제품 포함고정밀, SEMIG5급, 내고온, 장수명 광원, 항온 탐지기등 특징, 측정 범위 0-55%.센서는 초순수 PTFE/PFA 유통 풀 구조와 대면적의 사파이어 광학 프리즘을 결합하여 장기적인 기술 축적과 난관 해결 연구 개발을 통해 반도체 업계의 습전자 화학품 농도 온라인 측정 제어류 제품의"목 막힘"문제를 해결하였다.

제품 이점

1. 샘플을 미리 처리할 필요가 없고, 시약 소모품이 필요하지 않으며, 전체 측정 과정은 초체급이다.

2. 최대 10만 시간의 긴 수명 조명으로 사용 및 유지 관리 비용을 절감할 수 있습니다.

3. 일부 재료는 색상, 탁도의 영향을 받지 않습니다.

4. 일부 재료는 기포, 과립물의 영향을 받지 않는다.

5. 일부 재료는 검사 대상의 압력 변화, 유량 돌연변이, 물살 현상의 영향을 받지 않는다.

6. 계기는 검측 과정에서 기계적인 동작이 없어 장기간 안정적으로 사용할 수 있도록 보장한다.

7. 프리즘의 전체 평면 구조를 검사하여 광학 창에 때가 끼지 않도록 한다.

8. 출고 교정 및 자동 온도 보상, 직접 사용.

9. 상위기 통신, 4-20mA & RS485 신호 출력 지원.

10. 경보 및 제어 등 스위치량 신호 출력을 지원한다.

11. 데이터 모델을 사용자 정의할 수 있는 데이터 모델링 기능을 지원합니다.

기술 매개변수