공기 분자 오염 물질 AMC 모니터링

완벽했어공기 분자 오염 물질 AMC 모니터링

공기 분자 오염 (AMC) 을 실시간으로 모니터링하는 것은 반도체 생산 과정에 매우 중요하다.

공기 분자 오염 물질 AMC 모니터링빠른 모니터링, 경보, 극저농도 측정, 넓은 측정 영역, 다중 가스의 높은 감도 응답 등은 반도체 산업의 요구 사항 중 하나입니다.심자외선광각공법은 특히 암모니아, 아민류, N-메틸비프로판케톤 NMP, 산류 등 농도측정에 관심을 돌리고있는데 이런 기체가 화학증폭광각접착제와 반생반응할 때 반도체부품의 질에 깊은 영향을 미치게 된다.

전통적인 오래된 방법은 대부분 간접 측정 분석 방법을 채택한다.충돌 여과기, 이온 크로마토그래프, 화학 형광법을 포함하는데, 이러한 방법은 분석 속도가 너무 느리고, 조작 과정이 너무 복잡하며, 비싸고, 측정 결과가 정확하지 않다.

CEAS(캐비티 강화 흡수 스펙트럼) -- - 원리

CEAS (캐비티 강화 흡수 스펙트럼) 기술을 기반으로 한 기기 원리도는 근적외선 대역 빛을 사용하여 고감도 흡수 측정을 진행하며, 측정 캐비티는 고반사율 다회반사 렌즈 세트로 구성된 주상체로 구성되며, 레이저 빔은 고체 교정기 (FSR=2.00GHz) 를 지날 때 상대적인 레이저 파장을 측정한다.선명도를 보장하기 위해 왼쪽 측정 단위인 콘택트렌즈 밖으로 비치던 빔을 무시했다.

EP 증강형 버전은 압력센서와 내부 온도제어기가 통합돼 초안정성 측정 챔버를 갖춰 온도 표류, 압력 변화 등으로 인한 오차를 방지한다.

CEAS (캐비티 강화 흡수 스펙트럼) 는 1세대 CRDS (캐비티 붕괴 스펙트럼) 기술에 비해 입증된 많은 장점을 가지고 있다.간단히 말해서, 레이저 빔은 공명 결합이 측정 챔버에 들어갈 필요가 없습니다 (예: 빔은 엄격하게 조준할 필요가 없습니다).DUKE 분석 기기와 시스템은 천성적으로 설치가 간단하고 기계가 튼튼하며 보호가 튼튼하다는 특징을 가지고 있다.